西门子近日宣布完成对法国创新企业Canopus AI的收购，此举旨在通过引入先进的计算量测与检测技术，进一步强化其Calibre晶圆制造软件生态体系。尽管官方未公布具体交易金额，但据业内人士估算，该笔交易规模在1.5亿至3亿欧元之间（按当前汇率折合约12.31亿至24.62亿元人民币）。
成立于2021年的Canopus AI总部位于法国格勒诺布尔，专注于利用机器学习与人工智能技术优化半导体制造中的量测与检测流程。该公司提出的"Metrospection"理念在行业内具有开创性意义，通过构建统一的软件框架，将传统晶圆量测与检测环节的技术壁垒彻底打通。其特有的Mapbox类查看器支持交互式审查关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）图像及大批量制造数据，为工程师提供直观的数据分析工具。
面对半导体器件尺寸持续微缩和产能扩张的双重挑战，大规模量测技术已成为保障先进制程良率的核心要素。西门子计划将Canopus AI的技术深度整合至Calibre产品组合中，与现有的"计算光刻"和"制造物理仿真"能力形成协同效应。这种技术融合将使晶圆图形成像的保真度获得显著提升，同时通过精准测量边缘放置误差（EPE），帮助制造商实现亚纳米级的工艺控制精度。
Canopus AI开发的网页版Mapbox查看器具备强大的数据交互能力，可同时处理CD-SEM图像、HVM（大批量制造）Oasis文件及计量检测数据。这种多维度的数据整合方式，使制造过程中的异常检测与工艺优化效率得到质的提升。西门子数字化工业软件总裁Tony Hemmelgarn表示，此次收购体现了公司运用工业AI技术破解制造难题的战略决心，整合后的解决方案将帮助半导体企业缩短先进制程的量产周期，并加速良率提升进程。
通过此次技术整合，西门子将构建起覆盖晶圆制造全流程的差异化EDA解决方案。该方案不仅能提升制造数据的分析深度，还可通过智能算法优化仿真模型，使边缘放置误差的测量精度达到前所未有的水平。这种技术突破对于推动3nm及以下先进制程的规模化生产具有重要战略意义。
